真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
4期
283-288
,共6页
金刚石薄膜%超声波预处理%石英玻璃%成核密度%光透射率%四步生长法
金剛石薄膜%超聲波預處理%石英玻璃%成覈密度%光透射率%四步生長法
금강석박막%초성파예처리%석영파리%성핵밀도%광투사솔%사보생장법
石英玻璃衬底在金刚石粉和丙酮形成的悬浮液中超声波预处理,有效提高了金刚石成核密度.在最佳预处理和热丝化学气相沉积条件下,成核密度高达1010 cm-2以上.采用HFCVD中四步法生长工艺,制备出了表面粗糙度小于10 nm、膜厚300 nm、晶粒直径100 nm～150 nm、致密、均匀、高质量和高光透射率的金刚石膜,其1 μm～5 μm波段的光透射率达74%～85%.金刚石膜与石英玻璃衬底结合牢固,膜中无裂纹.
石英玻璃襯底在金剛石粉和丙酮形成的懸浮液中超聲波預處理,有效提高瞭金剛石成覈密度.在最佳預處理和熱絲化學氣相沉積條件下,成覈密度高達1010 cm-2以上.採用HFCVD中四步法生長工藝,製備齣瞭錶麵粗糙度小于10 nm、膜厚300 nm、晶粒直徑100 nm～150 nm、緻密、均勻、高質量和高光透射率的金剛石膜,其1 μm～5 μm波段的光透射率達74%～85%.金剛石膜與石英玻璃襯底結閤牢固,膜中無裂紋.
석영파리츤저재금강석분화병동형성적현부액중초성파예처리,유효제고료금강석성핵밀도.재최가예처리화열사화학기상침적조건하,성핵밀도고체1010 cm-2이상.채용HFCVD중사보법생장공예,제비출료표면조조도소우10 nm、막후300 nm、정립직경100 nm～150 nm、치밀、균균、고질량화고광투사솔적금강석막,기1 μm～5 μm파단적광투사솔체74%～85%.금강석막여석영파리츤저결합뢰고,막중무렬문.
