人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2004年
6期
1041-1043
,共3页
李留臣%陈治明%蒲红斌%封先锋%张群社
李留臣%陳治明%蒲紅斌%封先鋒%張群社
리류신%진치명%포홍빈%봉선봉%장군사
真空%密封%漏气率%密封结构
真空%密封%漏氣率%密封結構
진공%밀봉%루기솔%밀봉결구
真空系统的应用在现代科研生产领域中起着越来越重要的作用,越来越被人们所重视.真空系统设计的好坏,直接影响着晶体生长设备的成功与否,而提高真空系统的密封性,降低真空系统的漏气率是提高真空性能的主要措施.本文简要阐述了提高真空系统的密封性和降低漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,从而提高了真空系统的密封性能.
真空繫統的應用在現代科研生產領域中起著越來越重要的作用,越來越被人們所重視.真空繫統設計的好壞,直接影響著晶體生長設備的成功與否,而提高真空繫統的密封性,降低真空繫統的漏氣率是提高真空性能的主要措施.本文簡要闡述瞭提高真空繫統的密封性和降低漏氣率的一些措施,包括真空繫統設計中的結構設計、密封形式的選擇、密封材質的選用等,提齣瞭一種新型的靜密封結構,從而提高瞭真空繫統的密封性能.
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