物理
物理
물리
2005年
12期
915-921
,共7页
冯文然%陈光良%顾伟超%张谷令%范松华%刘赤子%杨思泽
馮文然%陳光良%顧偉超%張穀令%範鬆華%劉赤子%楊思澤
풍문연%진광량%고위초%장곡령%범송화%류적자%양사택
等离子体%脉冲高能量密度等离子体%综述%表面改性
等離子體%脈遲高能量密度等離子體%綜述%錶麵改性
등리자체%맥충고능량밀도등리자체%종술%표면개성
脉冲高能量密度等离子体(pulsed high energy density plasma, PHEDP)是一项新的材料表面改性技术.它集高电子温度、高能量密度、高定向速度于一身,在制备薄膜时具有沉积薄膜的温度低、沉积效率高、能量利用率高的优点,并兼具表面溅射、离子注入、冲击波和强淬火效应等综合效应;它可以制备纳米晶或非晶硬质薄膜,提高基底材料的表面硬度和耐磨、耐蚀性能;能够实现非金属材料表面金属化,所制备薄膜与基底之间存在很宽的混合过渡区,因此膜/基结合良好.文章主要介绍了作者近年来在该领域的部分研究成果,简要介绍了脉冲高能量密度等离子体的原理、特点及应用.分析了脉冲等离子体与材料相互作用的基本物理现象.
脈遲高能量密度等離子體(pulsed high energy density plasma, PHEDP)是一項新的材料錶麵改性技術.它集高電子溫度、高能量密度、高定嚮速度于一身,在製備薄膜時具有沉積薄膜的溫度低、沉積效率高、能量利用率高的優點,併兼具錶麵濺射、離子註入、遲擊波和彊淬火效應等綜閤效應;它可以製備納米晶或非晶硬質薄膜,提高基底材料的錶麵硬度和耐磨、耐蝕性能;能夠實現非金屬材料錶麵金屬化,所製備薄膜與基底之間存在很寬的混閤過渡區,因此膜/基結閤良好.文章主要介紹瞭作者近年來在該領域的部分研究成果,簡要介紹瞭脈遲高能量密度等離子體的原理、特點及應用.分析瞭脈遲等離子體與材料相互作用的基本物理現象.
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