光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
4期
676-681
,共6页
李晓韬%杨志刚%程光明%曾平
李曉韜%楊誌剛%程光明%曾平
리효도%양지강%정광명%증평
微位移机构%振动%惯性冲击%摩擦%压电双晶片%正弦波
微位移機構%振動%慣性遲擊%摩抆%壓電雙晶片%正絃波
미위이궤구%진동%관성충격%마찰%압전쌍정편%정현파
提出了利用正弦波信号驱动压电双晶片振子,应用惯性冲击力实现机构微小位移的技术方案,建立了机构运动的数学模型.设计了斜面结构,使正弦波作用产生的周期性惯性冲击力形成竖直作用于微位移驱动机构的分量,通过改变正压力调整摩擦阻力的大小,并推导了Qu<QD<FX的微位移机构运动条件.对微位移机构的速度-频率、速度-电压和位移特性进行了试验,结果表明:变摩擦式微位移机构样机能实现较稳定的正向运动,电压一定且频率为30～38 Hz时,运动速度随频率的增加而稳定增加;频率一定时,运动速度随电压增加而稳定增加;在35 Hz、90 V的正弦波激励下,样机平均步长达到2μm,速度达到1 mm/s.
提齣瞭利用正絃波信號驅動壓電雙晶片振子,應用慣性遲擊力實現機構微小位移的技術方案,建立瞭機構運動的數學模型.設計瞭斜麵結構,使正絃波作用產生的週期性慣性遲擊力形成豎直作用于微位移驅動機構的分量,通過改變正壓力調整摩抆阻力的大小,併推導瞭Qu<QD<FX的微位移機構運動條件.對微位移機構的速度-頻率、速度-電壓和位移特性進行瞭試驗,結果錶明:變摩抆式微位移機構樣機能實現較穩定的正嚮運動,電壓一定且頻率為30～38 Hz時,運動速度隨頻率的增加而穩定增加;頻率一定時,運動速度隨電壓增加而穩定增加;在35 Hz、90 V的正絃波激勵下,樣機平均步長達到2μm,速度達到1 mm/s.
제출료이용정현파신호구동압전쌍정편진자,응용관성충격력실현궤구미소위이적기술방안,건립료궤구운동적수학모형.설계료사면결구,사정현파작용산생적주기성관성충격력형성수직작용우미위이구동궤구적분량,통과개변정압력조정마찰조력적대소,병추도료Qu<QD<FX적미위이궤구운동조건.대미위이궤구적속도-빈솔、속도-전압화위이특성진행료시험,결과표명:변마찰식미위이궤구양궤능실현교은정적정향운동,전압일정차빈솔위30～38 Hz시,운동속도수빈솔적증가이은정증가;빈솔일정시,운동속도수전압증가이은정증가;재35 Hz、90 V적정현파격려하,양궤평균보장체도2μm,속도체도1 mm/s.
