光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2009年
1期
85-89
,共5页
于天燕%徐美%成效春%刘定权
于天燕%徐美%成效春%劉定權
우천연%서미%성효춘%류정권
光学薄膜%分色片%变极值监控%离子辅助沉积
光學薄膜%分色片%變極值鑑控%離子輔助沉積
광학박막%분색편%변겁치감공%리자보조침적
分色片是成像光学系统的关键元件之一.为了满足:45°角度下使用时,0.6～1.1μm,透射率(T)大于80%;0.4～0.6μm,反射率(R)大于90%;且尤其注重0.625μm具有高透射性,0.575μm具有高反射性的使用要求,研制了应用于成像光谱仪的0.4～1.1μm宽光谱可见/近红外分色片.在设计上采用了长波通滤光膜系加匹配修饰膜系的结构;采用非规整膜系变极值波长监控的方法,实现了多层非归整膜系的镀制;使用离子辅助沉积技术,保证了膜层的可靠性,研制出符合工程使用要求的高性能分色片.
分色片是成像光學繫統的關鍵元件之一.為瞭滿足:45°角度下使用時,0.6～1.1μm,透射率(T)大于80%;0.4～0.6μm,反射率(R)大于90%;且尤其註重0.625μm具有高透射性,0.575μm具有高反射性的使用要求,研製瞭應用于成像光譜儀的0.4～1.1μm寬光譜可見/近紅外分色片.在設計上採用瞭長波通濾光膜繫加匹配脩飾膜繫的結構;採用非規整膜繫變極值波長鑑控的方法,實現瞭多層非歸整膜繫的鍍製;使用離子輔助沉積技術,保證瞭膜層的可靠性,研製齣符閤工程使用要求的高性能分色片.
분색편시성상광학계통적관건원건지일.위료만족:45°각도하사용시,0.6～1.1μm,투사솔(T)대우80%;0.4～0.6μm,반사솔(R)대우90%;차우기주중0.625μm구유고투사성,0.575μm구유고반사성적사용요구,연제료응용우성상광보의적0.4～1.1μm관광보가견/근홍외분색편.재설계상채용료장파통려광막계가필배수식막계적결구;채용비규정막계변겁치파장감공적방법,실현료다층비귀정막계적도제;사용리자보조침적기술,보증료막층적가고성,연제출부합공정사용요구적고성능분색편.
