真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
2期
155-159
,共5页
高昆%卢意飞%施立群%孙剑%许宁%吴嘉达
高昆%盧意飛%施立群%孫劍%許寧%吳嘉達
고곤%로의비%시립군%손검%허저%오가체
稀土掺杂氮化镓%原位掺杂激光烧蚀%等离子体辅助脉冲激光沉积%电子回旋共振微波等离子体
稀土摻雜氮化鎵%原位摻雜激光燒蝕%等離子體輔助脈遲激光沉積%電子迴鏇共振微波等離子體
희토참잡담화가%원위참잡격광소식%등리자체보조맥충격광침적%전자회선공진미파등리자체
利用基于双激光束双靶共烧蚀的等离子体辅助脉冲激光沉积的化合物薄膜沉积和原位掺杂方法,制备了稀土Er掺杂和Pr掺杂的GaN薄膜.基质膜层中的Ga和N化合成键形成GaN,其组织结构为六角CaN相,膜层具有良好的可见光至近红外的透光性能.改变两激光束的重复频率比可以获得0.2%~5%不等的Er或Pr的掺杂浓度,GaN基质的化学成键、组织结构和透光性能没有因稀土的掺入而发生明显的变化.
利用基于雙激光束雙靶共燒蝕的等離子體輔助脈遲激光沉積的化閤物薄膜沉積和原位摻雜方法,製備瞭稀土Er摻雜和Pr摻雜的GaN薄膜.基質膜層中的Ga和N化閤成鍵形成GaN,其組織結構為六角CaN相,膜層具有良好的可見光至近紅外的透光性能.改變兩激光束的重複頻率比可以穫得0.2%~5%不等的Er或Pr的摻雜濃度,GaN基質的化學成鍵、組織結構和透光性能沒有因稀土的摻入而髮生明顯的變化.
이용기우쌍격광속쌍파공소식적등리자체보조맥충격광침적적화합물박막침적화원위참잡방법,제비료희토Er참잡화Pr참잡적GaN박막.기질막층중적Ga화N화합성건형성GaN,기조직결구위륙각CaN상,막층구유량호적가견광지근홍외적투광성능.개변량격광속적중복빈솔비가이획득0.2%~5%불등적Er혹Pr적참잡농도,GaN기질적화학성건、조직결구화투광성능몰유인희토적참입이발생명현적변화.
