真空
真空
진공
VACUUM
2010年
5期
31-34
,共4页
刘广庆%刘孟寅%龚杰%孙延东%李德军
劉廣慶%劉孟寅%龔傑%孫延東%李德軍
류엄경%류맹인%공걸%손연동%리덕군
离子辅助沉积%ZrB2/WNx纳米多层膜%硬度%调制周期
離子輔助沉積%ZrB2/WNx納米多層膜%硬度%調製週期
리자보조침적%ZrB2/WNx납미다층막%경도%조제주기
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响.结果表明:ZrB2具有典型的六角相及WNx为六方与立方混合相结构,ZrB2/WNx的多层膜则呈现多晶结构.所有多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体单层膜材料值.当调制周期Λ=9.6 nm,轰击能量为200 eV时,ZrB2/WNx的多层膜显示出最高的硬度(30.2 GPa)和弹性模量,内应力和划痕测试等机械性能也取得较好的结果.
本文利用高真空離子束輔助沉積繫統(IBAD)在室溫下製備瞭ZrB2、WNx和一繫列ZrB2/WNx納米多層膜,利用XRD、SEM、XP-2檯階儀、納米力學測試繫統錶徵瞭薄膜的微結構和機械性能,分析瞭調製週期對薄膜結構與機械性能的影響.結果錶明:ZrB2具有典型的六角相及WNx為六方與立方混閤相結構,ZrB2/WNx的多層膜則呈現多晶結構.所有多層膜的納米硬度與彈性模量值都高于兩種箇體單層膜材料值.噹調製週期Λ=9.6 nm,轟擊能量為200 eV時,ZrB2/WNx的多層膜顯示齣最高的硬度(30.2 GPa)和彈性模量,內應力和劃痕測試等機械性能也取得較好的結果.
본문이용고진공리자속보조침적계통(IBAD)재실온하제비료ZrB2、WNx화일계렬ZrB2/WNx납미다층막,이용XRD、SEM、XP-2태계의、납미역학측시계통표정료박막적미결구화궤계성능,분석료조제주기대박막결구여궤계성능적영향.결과표명:ZrB2구유전형적륙각상급WNx위륙방여립방혼합상결구,ZrB2/WNx적다층막칙정현다정결구.소유다층막적납미경도여탄성모량치도고우량충개체단층막재료치.당조제주기Λ=9.6 nm,굉격능량위200 eV시,ZrB2/WNx적다층막현시출최고적경도(30.2 GPa)화탄성모량,내응력화화흔측시등궤계성능야취득교호적결과.
