传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
3期
329-332
,共4页
MEMS%系统级%近似模型%优化%微机械陀螺
MEMS%繫統級%近似模型%優化%微機械陀螺
MEMS%계통급%근사모형%우화%미궤계타라
提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法,给出具体实现流程,并结合一个y轴微机械陀螺进行优化.该方法解决了如何得到近似优化目标函数表达式的关键问题.所得的y轴微机械陀螺优化参数,使得陀螺驱动模态谐振频率fx和检测模态谐振频率fz分别为3074 Hz和2998 Hz,两者之间相差76 Hz,较好的实现了模态匹配,且都在3000 Hz的设计要求附近,约束条件也得到了满足.该优化方法为在MEMS设计中快速获得系统级优化方案提供较好参考.
提齣一種基于近似模型的MEMS繫統級優化方法,給齣具體實現流程,併結閤一箇y軸微機械陀螺進行優化.該方法解決瞭如何得到近似優化目標函數錶達式的關鍵問題.所得的y軸微機械陀螺優化參數,使得陀螺驅動模態諧振頻率fx和檢測模態諧振頻率fz分彆為3074 Hz和2998 Hz,兩者之間相差76 Hz,較好的實現瞭模態匹配,且都在3000 Hz的設計要求附近,約束條件也得到瞭滿足.該優化方法為在MEMS設計中快速穫得繫統級優化方案提供較好參攷.
제출일충기우근사모형적MEMS계통급우화방법,급출구체실현류정,병결합일개y축미궤계타라진행우화.해방법해결료여하득도근사우화목표함수표체식적관건문제.소득적y축미궤계타라우화삼수,사득타라구동모태해진빈솔fx화검측모태해진빈솔fz분별위3074 Hz화2998 Hz,량자지간상차76 Hz,교호적실현료모태필배,차도재3000 Hz적설계요구부근,약속조건야득도료만족.해우화방법위재MEMS설계중쾌속획득계통급우화방안제공교호삼고.
