光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
8期
1772-1781
,共10页
翟雷应%徐静%钟少龙%吴亚明
翟雷應%徐靜%鐘少龍%吳亞明
적뢰응%서정%종소룡%오아명
微机电系统(MEMS)%光相位调制器%无交叠垂直梳齿驱动器%平动微镜%保角变换法%静电驱动
微機電繫統(MEMS)%光相位調製器%無交疊垂直梳齒驅動器%平動微鏡%保角變換法%靜電驅動
미궤전계통(MEMS)%광상위조제기%무교첩수직소치구동기%평동미경%보각변환법%정전구동
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性.从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型；以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析.采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性.实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28 V偏压下机械位移可达325 nm,相位差为2π；在90 V的偏压下能够获得2.07μm静态位移.测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础.
為瞭設計用于光相位調製器平動微鏡的無交疊梳齒驅動器,建立瞭保角變換數學模型,研究瞭驅動器的驅動特性.從複變函數理論齣髮,建立瞭驅動器的保角變換靜電場解析模型；以動齒受力為研究對象,根據不同情形下的動齒受力特點,求解瞭一定區間內動齒的靜電力併與有限元模擬計算結果進行瞭對比分析.採用微機電繫統(MEMS)工藝製作齣瞭無交疊梳齒驅動器,搭建瞭Michelson榦涉儀光學測試繫統,測試瞭無交疊梳齒驅動器的靜態驅動特性.實驗結果錶明,所製作的無交疊梳齒驅動器在28 V偏壓下機械位移可達325 nm,相位差為2π；在90 V的偏壓下能夠穫得2.07μm靜態位移.測試結果與保角變換及有限元模型分析結果一緻,驗證瞭所建數學模型的正確性,為無交疊梳齒驅動器的設計提供瞭理論與實驗基礎.
위료설계용우광상위조제기평동미경적무교첩소치구동기,건립료보각변환수학모형,연구료구동기적구동특성.종복변함수이론출발,건립료구동기적보각변환정전장해석모형；이동치수력위연구대상,근거불동정형하적동치수력특점,구해료일정구간내동치적정전력병여유한원모의계산결과진행료대비분석.채용미궤전계통(MEMS)공예제작출료무교첩소치구동기,탑건료Michelson간섭의광학측시계통,측시료무교첩소치구동기적정태구동특성.실험결과표명,소제작적무교첩소치구동기재28 V편압하궤계위이가체325 nm,상위차위2π；재90 V적편압하능구획득2.07μm정태위이.측시결과여보각변환급유한원모형분석결과일치,험증료소건수학모형적정학성,위무교첩소치구동기적설계제공료이론여실험기출.
