微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2002年
2期
34-37
,共4页
非接触式压力微传感器%MEMS%扰度%硅梁
非接觸式壓力微傳感器%MEMS%擾度%硅樑
비접촉식압력미전감기%MEMS%우도%규량
非接触式压力传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条件下,由小扰度向大扰度过渡时,不产生非线性跳变,从而大大提高了器件的稳定性与动态特性.
非接觸式壓力傳感器利用特殊的機械結構,大大改善瞭傳統接觸式壓力傳感器工作區域狹小,線性度較差等問題,使壓力傳感器在高載荷條件下,由小擾度嚮大擾度過渡時,不產生非線性跳變,從而大大提高瞭器件的穩定性與動態特性.
비접촉식압력전감기이용특수적궤계결구,대대개선료전통접촉식압력전감기공작구역협소,선성도교차등문제,사압력전감기재고재하조건하,유소우도향대우도과도시,불산생비선성도변,종이대대제고료기건적은정성여동태특성.
