光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
1期
54-56
,共3页
罗飚%陈永诗%沈坤%阳洪涛%谈春雷
囉飚%陳永詩%瀋坤%暘洪濤%談春雷
라표%진영시%침곤%양홍도%담춘뢰
分布式布拉格反馈%干法腐蚀%反应离子刻蚀%全息光刻
分佈式佈拉格反饋%榦法腐蝕%反應離子刻蝕%全息光刻
분포식포랍격반궤%간법부식%반응리자각식%전식광각
在光栅的制作中有两种方法:其中一个是湿法,另外一个是干法.本文分别就湿法和干法的实验结果,进行比较.用干法刻蚀方法做出了比较好的一级光栅,证明了干法刻蚀优于湿法刻蚀.
在光柵的製作中有兩種方法:其中一箇是濕法,另外一箇是榦法.本文分彆就濕法和榦法的實驗結果,進行比較.用榦法刻蝕方法做齣瞭比較好的一級光柵,證明瞭榦法刻蝕優于濕法刻蝕.
재광책적제작중유량충방법:기중일개시습법,령외일개시간법.본문분별취습법화간법적실험결과,진행비교.용간법각식방법주출료비교호적일급광책,증명료간법각식우우습법각식.
