真空
真空
진공
VACUUM
2005年
4期
12-14
,共3页
薛玉明%刘维一%朴英美%李凤岩%何青%周志强%孙云
薛玉明%劉維一%樸英美%李鳳巖%何青%週誌彊%孫雲
설옥명%류유일%박영미%리봉암%하청%주지강%손운
ZnO%孪生对靶%透过率
ZnO%孿生對靶%透過率
ZnO%련생대파%투과솔
采用对向孪生靶溅射ZnO∶Al(ZAO)薄膜可减少等离子体对基底薄膜轰击损伤,沉积速率与结晶程度高;不同气压溅射的ZAO薄膜,其透光率在波长小于700 nm时基本相同,在可见光范围内(400～700 nm),都大于80%.其中,在550 nm时的透过率大于90%;入射光大于700 nm时,ZAO较厚的薄膜对红外的吸收更多;溅射气压为2 Pa比1 Pa沉积速率低,但薄膜电子迁移率较大、电阻率低,更适合做CIS薄膜太阳电池窗口层或透明导电膜.
採用對嚮孿生靶濺射ZnO∶Al(ZAO)薄膜可減少等離子體對基底薄膜轟擊損傷,沉積速率與結晶程度高;不同氣壓濺射的ZAO薄膜,其透光率在波長小于700 nm時基本相同,在可見光範圍內(400～700 nm),都大于80%.其中,在550 nm時的透過率大于90%;入射光大于700 nm時,ZAO較厚的薄膜對紅外的吸收更多;濺射氣壓為2 Pa比1 Pa沉積速率低,但薄膜電子遷移率較大、電阻率低,更適閤做CIS薄膜太暘電池窗口層或透明導電膜.
채용대향련생파천사ZnO∶Al(ZAO)박막가감소등리자체대기저박막굉격손상,침적속솔여결정정도고;불동기압천사적ZAO박막,기투광솔재파장소우700 nm시기본상동,재가견광범위내(400～700 nm),도대우80%.기중,재550 nm시적투과솔대우90%;입사광대우700 nm시,ZAO교후적박막대홍외적흡수경다;천사기압위2 Pa비1 Pa침적속솔저,단박막전자천이솔교대、전조솔저,경괄합주CIS박막태양전지창구층혹투명도전막.
