液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2005年
5期
406-411
,共6页
射频磁控溅射%透明导电薄膜%光电性能%氧气分压
射頻磁控濺射%透明導電薄膜%光電性能%氧氣分壓
사빈자공천사%투명도전박막%광전성능%양기분압
采用射频磁控溅射法在载波片玻璃衬底上制备了锑掺杂二氧化锡(SnO2:Sb)透明导电薄膜.利用霍耳效应实验、紫外可见光光谱仪、n(折射率)k(消光系数)d(薄膜厚度)光谱仪对该导电薄膜的光电性能进行了测试.讨论了氧气分压对样品光电性能的影响,增加氧气分压,薄膜的厚度减小、吸收边和截止波长蓝移,光学带隙增大,并且氧气分压对薄膜电阻率、载流子浓度和霍耳迁移率的影响不是线性的,而是存在一个最佳值.当氧气分压为0.10 Pa时,薄膜的光电性能最佳,此时膜厚为399 nm,可见光平均透过率为70 %,电阻率为2.5×10-3 Ω·cm,载流子浓度为1.2×1021 cm-3,载流子霍耳迁移率为2.04 cm2·V-1·s-1,其光电特性已达到了TFT-LCD透明电极的要求.
採用射頻磁控濺射法在載波片玻璃襯底上製備瞭銻摻雜二氧化錫(SnO2:Sb)透明導電薄膜.利用霍耳效應實驗、紫外可見光光譜儀、n(摺射率)k(消光繫數)d(薄膜厚度)光譜儀對該導電薄膜的光電性能進行瞭測試.討論瞭氧氣分壓對樣品光電性能的影響,增加氧氣分壓,薄膜的厚度減小、吸收邊和截止波長藍移,光學帶隙增大,併且氧氣分壓對薄膜電阻率、載流子濃度和霍耳遷移率的影響不是線性的,而是存在一箇最佳值.噹氧氣分壓為0.10 Pa時,薄膜的光電性能最佳,此時膜厚為399 nm,可見光平均透過率為70 %,電阻率為2.5×10-3 Ω·cm,載流子濃度為1.2×1021 cm-3,載流子霍耳遷移率為2.04 cm2·V-1·s-1,其光電特性已達到瞭TFT-LCD透明電極的要求.
채용사빈자공천사법재재파편파리츤저상제비료제참잡이양화석(SnO2:Sb)투명도전박막.이용곽이효응실험、자외가견광광보의、n(절사솔)k(소광계수)d(박막후도)광보의대해도전박막적광전성능진행료측시.토론료양기분압대양품광전성능적영향,증가양기분압,박막적후도감소、흡수변화절지파장람이,광학대극증대,병차양기분압대박막전조솔、재류자농도화곽이천이솔적영향불시선성적,이시존재일개최가치.당양기분압위0.10 Pa시,박막적광전성능최가,차시막후위399 nm,가견광평균투과솔위70 %,전조솔위2.5×10-3 Ω·cm,재류자농도위1.2×1021 cm-3,재류자곽이천이솔위2.04 cm2·V-1·s-1,기광전특성이체도료TFT-LCD투명전겁적요구.
