厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2005年
5期
658-660
,共3页
刘益芳%崔宏巍%吕文龙%孙道恒%杨防祖
劉益芳%崔宏巍%呂文龍%孫道恆%楊防祖
류익방%최굉외%려문룡%손도항%양방조
悬臂梁%微电铸%铸层
懸臂樑%微電鑄%鑄層
현비량%미전주%주층
为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结果表明,整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷,但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀,其中,铸层面积最大的基座铸层最厚,面积次之的粗梁的铸层厚度居中,面积最小的细梁的铸层最薄.实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象.
為瞭設計齣導電的Ni微變截麵懸臂樑,採用瞭基于成熟的電鍍技術的微電鑄工藝.在分析懸臂樑的變截麵結構和搭建微電鑄試驗平檯之後,設計瞭整箇工藝流程,利用近紫外線厚膠光刻、Ni微電鑄、去除犧牲層等工藝實現瞭懸臂樑的製作.工藝實驗結果錶明,整箇變截麵懸臂樑的鑄層錶麵沒有缺陷,但不同微電鑄麵積的基座、粗樑、細樑的鑄層厚度不均勻,其中,鑄層麵積最大的基座鑄層最厚,麵積次之的粗樑的鑄層厚度居中,麵積最小的細樑的鑄層最薄.實驗證明在一定範圍內增大佔空比和降低電流密度可以抑製這種厚度不均勻現象.
위료설계출도전적Ni미변절면현비량,채용료기우성숙적전도기술적미전주공예.재분석현비량적변절면결구화탑건미전주시험평태지후,설계료정개공예류정,이용근자외선후효광각、Ni미전주、거제희생층등공예실현료현비량적제작.공예실험결과표명,정개변절면현비량적주층표면몰유결함,단불동미전주면적적기좌、조량、세량적주층후도불균균,기중,주층면적최대적기좌주층최후,면적차지적조량적주층후도거중,면적최소적세량적주층최박.실험증명재일정범위내증대점공비화강저전류밀도가이억제저충후도불균균현상.
