半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
2期
154-158
,共5页
于进勇%刘新宇%苏树兵%王润梅%徐安怀%齐鸣
于進勇%劉新宇%囌樹兵%王潤梅%徐安懷%齊鳴
우진용%류신우%소수병%왕윤매%서안부%제명
InP%异质结双极型晶体管%微空气桥%空气桥%自对准
InP%異質結雙極型晶體管%微空氣橋%空氣橋%自對準
InP%이질결쌍겁형정체관%미공기교%공기교%자대준
InP%HBT%μ-bridge%air-bridge%self-aligning
报道了具有基极微空气桥和发射极空气桥结构的InP单异质结双极型晶体管(SHBT).由于基极微空气桥和发射极空气桥结构有效地减小了寄生,发射极尺寸为2 μm×12.5 μm的InP HBT的截止频率达到了178GHz.这种器件对高速低功耗的应用非常关键,例如OEIC接收机以及模拟、数字转换器.
報道瞭具有基極微空氣橋和髮射極空氣橋結構的InP單異質結雙極型晶體管(SHBT).由于基極微空氣橋和髮射極空氣橋結構有效地減小瞭寄生,髮射極呎吋為2 μm×12.5 μm的InP HBT的截止頻率達到瞭178GHz.這種器件對高速低功耗的應用非常關鍵,例如OEIC接收機以及模擬、數字轉換器.
보도료구유기겁미공기교화발사겁공기교결구적InP단이질결쌍겁형정체관(SHBT).유우기겁미공기교화발사겁공기교결구유효지감소료기생,발사겁척촌위2 μm×12.5 μm적InP HBT적절지빈솔체도료178GHz.저충기건대고속저공모적응용비상관건,례여OEIC접수궤이급모의、수자전환기.
An InP-based single-heterojunction bipolar transistor (SHBT) with base μ-bridge and emitter air-bridge is reported. Because those bridges reduce parasitic capacitance greatly, the cutoff frequency fT of the 2 μm ×12.5 μm InP SHBT without de-embedding reaches 178GHz. It is critical in high-speed low power applications,such as OEIC receivers and analog-to-digital converters.