强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
2期
327-329
,共3页
公发全%肖鹏%黄润兰%李刚%刘万发%董闯
公髮全%肖鵬%黃潤蘭%李剛%劉萬髮%董闖
공발전%초붕%황윤란%리강%류만발%동틈
化学气相沉积%SiC材料%光学加工%超光滑表面%纳米加工%表面粗糙度
化學氣相沉積%SiC材料%光學加工%超光滑錶麵%納米加工%錶麵粗糙度
화학기상침적%SiC재료%광학가공%초광활표면%납미가공%표면조조도
利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4 μm到1 μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面.
利用傳統光學加工方法,採用陶瓷磨盤和金剛石微粉對國產化學氣相沉積(CVD)SiC進行瞭粗磨、細磨加工;然後,利用顆粒直徑從4 μm到1 μm的金剛石研磨膏逐級進行拋光,髮現SiC錶麵存在納米級劃痕;最後,改用顆粒直徑為20 nm氧化鋁納米顆粒的堿性水溶液進行拋光,錶麵粗糙度達到0.6 nm(RMS),錶麵納米級劃痕得到很好改善,穫得瞭較高錶麵質量的超光滑錶麵.
이용전통광학가공방법,채용도자마반화금강석미분대국산화학기상침적(CVD)SiC진행료조마、세마가공;연후,이용과립직경종4 μm도1 μm적금강석연마고축급진행포광,발현SiC표면존재납미급화흔;최후,개용과립직경위20 nm양화려납미과립적감성수용액진행포광,표면조조도체도0.6 nm(RMS),표면납미급화흔득도흔호개선,획득료교고표면질량적초광활표면.
