无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
3期
425-428
,共4页
严成锋%施尔畏%陈之战%李祥彪%肖兵
嚴成鋒%施爾畏%陳之戰%李祥彪%肖兵
엄성봉%시이외%진지전%리상표%초병
碳化硅%钒掺杂%半绝缘%光导开关
碳化硅%釩摻雜%半絕緣%光導開關
탄화규%범참잡%반절연%광도개관
选用钒掺杂浓度为0.2at%的高质量6H-SiC晶体,电阻率为7.0x108>Ω·cm,研制出超快大功率SiC光导开关.在脉冲宽度为20ns的光源激发下,分别测试了在不同的偏置电压和光能条件下开关的电脉冲输出特性.结果表明:1mm电极间隙的SiC开关器件的性能优越,耐偏压高,光导电脉冲的上升时间快(6.8ns),脉宽<20ns,稳定性好.负载为40Ω的电阻上输出线性电脉冲电压随开关的偏置电压和光强增大而增大,在2.5kV的偏置电压下,最大瞬时电流约为57.5A,瞬时功率高达132kW.
選用釩摻雜濃度為0.2at%的高質量6H-SiC晶體,電阻率為7.0x108>Ω·cm,研製齣超快大功率SiC光導開關.在脈遲寬度為20ns的光源激髮下,分彆測試瞭在不同的偏置電壓和光能條件下開關的電脈遲輸齣特性.結果錶明:1mm電極間隙的SiC開關器件的性能優越,耐偏壓高,光導電脈遲的上升時間快(6.8ns),脈寬<20ns,穩定性好.負載為40Ω的電阻上輸齣線性電脈遲電壓隨開關的偏置電壓和光彊增大而增大,在2.5kV的偏置電壓下,最大瞬時電流約為57.5A,瞬時功率高達132kW.
선용범참잡농도위0.2at%적고질량6H-SiC정체,전조솔위7.0x108>Ω·cm,연제출초쾌대공솔SiC광도개관.재맥충관도위20ns적광원격발하,분별측시료재불동적편치전압화광능조건하개관적전맥충수출특성.결과표명:1mm전겁간극적SiC개관기건적성능우월,내편압고,광도전맥충적상승시간쾌(6.8ns),맥관<20ns,은정성호.부재위40Ω적전조상수출선성전맥충전압수개관적편치전압화광강증대이증대,재2.5kV적편치전압하,최대순시전류약위57.5A,순시공솔고체132kW.
