高产能四管卧式热壁型PECVD设备
고산능사관와식열벽형PECVD설비
High Yielding Four Tubes' Horizontal Hot Wall Type PECVD Equipment
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2010年 7期 36-38 ,共3页

    郑建宇%宋晓彬%张燕%李补忠

    정건우%송효빈%장연%리보충

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    介绍了北京七星华创电子股份有限公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.
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