人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
6期
1591-1594
,共4页
铝诱导织构%固相晶化%多晶硅薄膜%陷光作用
鋁誘導織構%固相晶化%多晶硅薄膜%陷光作用
려유도직구%고상정화%다정규박막%함광작용
本实验在铝诱导织构的基础上,对以AIT浮法玻璃为衬底沉积非晶硅薄膜固相晶化进行了初步研究.采用拉曼散射、X射线衍射等手段对生成多晶硅薄膜的结构和光学性能进行了表征和分析.研究结果表明:热处理10h,薄膜的晶化率达到80％以上,同时具有良好的(111)择优取向；同平板玻璃衬底对比,AIT玻璃上制备的多晶硅薄膜具有良好的陷光作用.
本實驗在鋁誘導織構的基礎上,對以AIT浮法玻璃為襯底沉積非晶硅薄膜固相晶化進行瞭初步研究.採用拉曼散射、X射線衍射等手段對生成多晶硅薄膜的結構和光學性能進行瞭錶徵和分析.研究結果錶明:熱處理10h,薄膜的晶化率達到80％以上,同時具有良好的(111)擇優取嚮；同平闆玻璃襯底對比,AIT玻璃上製備的多晶硅薄膜具有良好的陷光作用.
본실험재려유도직구적기출상,대이AIT부법파리위츤저침적비정규박막고상정화진행료초보연구.채용랍만산사、X사선연사등수단대생성다정규박막적결구화광학성능진행료표정화분석.연구결과표명:열처리10h,박막적정화솔체도80％이상,동시구유량호적(111)택우취향；동평판파리츤저대비,AIT파리상제비적다정규박막구유량호적함광작용.
