稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
12期
2184-2187
,共4页
张运娟%邢丕峰%韦建军%李朝阳%张淑洋
張運娟%邢丕峰%韋建軍%李朝暘%張淑洋
장운연%형비봉%위건군%리조양%장숙양
钽%电解抛光%表面粗糙度
鐽%電解拋光%錶麵粗糙度
단%전해포광%표면조조도
采用硫酸甲醇体系对钽进行电解抛光,并对其抛光性能进行了研究,测定了不同配比时电解液中钽的阳极极化曲线,研究了电解液配比和电压对钽表面质量的影响.在搅拌速率为16 m/s、电解液温度为0℃、时间为3 min、硫酸甲醇体积比为1:7时,电压在20 V左右抛光效果较好、钽表面均方根粗糙度Rq小于30 nm,不仅能够满足钽材表面精饰加工需求,而且能够满足EOS靶用标准材料薄膜对表面质量要求.
採用硫痠甲醇體繫對鐽進行電解拋光,併對其拋光性能進行瞭研究,測定瞭不同配比時電解液中鐽的暘極極化麯線,研究瞭電解液配比和電壓對鐽錶麵質量的影響.在攪拌速率為16 m/s、電解液溫度為0℃、時間為3 min、硫痠甲醇體積比為1:7時,電壓在20 V左右拋光效果較好、鐽錶麵均方根粗糙度Rq小于30 nm,不僅能夠滿足鐽材錶麵精飾加工需求,而且能夠滿足EOS靶用標準材料薄膜對錶麵質量要求.
채용류산갑순체계대단진행전해포광,병대기포광성능진행료연구,측정료불동배비시전해액중단적양겁겁화곡선,연구료전해액배비화전압대단표면질량적영향.재교반속솔위16 m/s、전해액온도위0℃、시간위3 min、류산갑순체적비위1:7시,전압재20 V좌우포광효과교호、단표면균방근조조도Rq소우30 nm,불부능구만족단재표면정식가공수구,이차능구만족EOS파용표준재료박막대표면질량요구.
