三氯氢硅合成尾气回收方法探讨
삼록경규합성미기회수방법탐토
  • 万方数据
    化工设计 화공설계
    CHEMICAL ENGINEERING DESIGN
    2012年 2期 32-35 ,共4页

    郑开学

    정개학

    多晶硅%三氯氢硅%尾气回收 多晶硅%三氯氫硅%尾氣迴收
    다정규%삼록경규%미기회수
    探讨三氯氢硅合成尾气回收方法,降低三氯氢硅生产成本,利于环境保护.
    탐토삼록경규합성미기회수방법,강저삼록경규생산성본,리우배경보호.
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