机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2008年
1期
63-66
,共4页
二硅化钼%发热元件%保护膜%组织
二硅化鉬%髮熱元件%保護膜%組織
이규화목%발열원건%보호막%조직
采用SEM和EDS技术研究了国外某MoSi2发热元件表面保护膜的成分和微观组织.结果表明:在MoSi2发热元件外表面存在一层光滑致密的厚度超过10μm的玻璃保护膜,膜和基体之间界面清晰,结合紧密,该膜是一种以SiO2为主,含有少量铝、钠、镁和钙氧化物的复合成分的玻璃保护膜;在最外层玻璃保护膜和基体之间存在1～2μm厚的Mo5Si3过渡层;复合成分玻璃保护膜和Mo5Si3过渡层的出现有利于调整保护膜和基体之间热膨胀系数的差异,提高保护膜和基体结合的稳定性,有利于发热元件的高温使用.
採用SEM和EDS技術研究瞭國外某MoSi2髮熱元件錶麵保護膜的成分和微觀組織.結果錶明:在MoSi2髮熱元件外錶麵存在一層光滑緻密的厚度超過10μm的玻璃保護膜,膜和基體之間界麵清晰,結閤緊密,該膜是一種以SiO2為主,含有少量鋁、鈉、鎂和鈣氧化物的複閤成分的玻璃保護膜;在最外層玻璃保護膜和基體之間存在1～2μm厚的Mo5Si3過渡層;複閤成分玻璃保護膜和Mo5Si3過渡層的齣現有利于調整保護膜和基體之間熱膨脹繫數的差異,提高保護膜和基體結閤的穩定性,有利于髮熱元件的高溫使用.
채용SEM화EDS기술연구료국외모MoSi2발열원건표면보호막적성분화미관조직.결과표명:재MoSi2발열원건외표면존재일층광활치밀적후도초과10μm적파리보호막,막화기체지간계면청석,결합긴밀,해막시일충이SiO2위주,함유소량려、납、미화개양화물적복합성분적파리보호막;재최외층파리보호막화기체지간존재1～2μm후적Mo5Si3과도층;복합성분파리보호막화Mo5Si3과도층적출현유리우조정보호막화기체지간열팽창계수적차이,제고보호막화기체결합적은정성,유리우발열원건적고온사용.
