材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2005年
10期
47-51
,共5页
蔡杉%李占一%董妍%颜鸣皋
蔡杉%李佔一%董妍%顏鳴皋
채삼%리점일%동연%안명고
直流电阻加热%SiC纤维%CVD工艺
直流電阻加熱%SiC纖維%CVD工藝
직류전조가열%SiC섬유%CVD공예
对SiC纤维的直流电阻加热CVD工艺进行了研究,实验采用将两种硅烷的比例混合液体通过液体流量计计量供液并即时完全汽化后与氢气混合输入到反应管并在水冷水银封入气口通入顶吹氢的供气方案,从而简化了工艺并解决了反应气体冷凝问题.在CVD工艺研究中发现影响纤维沉积质量的因素主要有沉积温度、反应气体组分及流量、走丝速度等工艺参数,此外还发现直流电阻加热CVD工艺中,反应管前后存在约200℃的温差,采用双沉积室工艺可减缓温差.在一定的沉积参数下,可沉积出直径60～100μm、抗拉强度3100～4080MPa的SiC纤维.
對SiC纖維的直流電阻加熱CVD工藝進行瞭研究,實驗採用將兩種硅烷的比例混閤液體通過液體流量計計量供液併即時完全汽化後與氫氣混閤輸入到反應管併在水冷水銀封入氣口通入頂吹氫的供氣方案,從而簡化瞭工藝併解決瞭反應氣體冷凝問題.在CVD工藝研究中髮現影響纖維沉積質量的因素主要有沉積溫度、反應氣體組分及流量、走絲速度等工藝參數,此外還髮現直流電阻加熱CVD工藝中,反應管前後存在約200℃的溫差,採用雙沉積室工藝可減緩溫差.在一定的沉積參數下,可沉積齣直徑60～100μm、抗拉彊度3100～4080MPa的SiC纖維.
대SiC섬유적직류전조가열CVD공예진행료연구,실험채용장량충규완적비례혼합액체통과액체류량계계량공액병즉시완전기화후여경기혼합수입도반응관병재수랭수은봉입기구통입정취경적공기방안,종이간화료공예병해결료반응기체냉응문제.재CVD공예연구중발현영향섬유침적질량적인소주요유침적온도、반응기체조분급류량、주사속도등공예삼수,차외환발현직류전조가열CVD공예중,반응관전후존재약200℃적온차,채용쌍침적실공예가감완온차.재일정적침적삼수하,가침적출직경60～100μm、항랍강도3100～4080MPa적SiC섬유.
