材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2006年
2期
30-33,43
,共5页
李宝杰%卓钺%杨盛良%潘水艳
李寶傑%卓鉞%楊盛良%潘水豔
리보걸%탁월%양성량%반수염
MOCVD%Cf/SiC%铱%涂层
MOCVD%Cf/SiC%銥%塗層
MOCVD%Cf/SiC%의%도층
为了进一步提高Cf/SiC复合材料的高温耐烧蚀性能,采用冷壁MOCVD工艺,对条型和管型Cf/SiC复合材料样品进行了金属铱膜层沉积.结果表明,在该工艺条件下,Cf/SiC复合材料的力学性能没有明显降低,沉积的金属铱膜呈白亮的金属色光泽.针对通氧沉积工艺中涂层氧含量较多的问题,通过对涂层进行后处理,使金属铱层的纯度大大提高,为获得高纯膜提供了新的工艺途径.
為瞭進一步提高Cf/SiC複閤材料的高溫耐燒蝕性能,採用冷壁MOCVD工藝,對條型和管型Cf/SiC複閤材料樣品進行瞭金屬銥膜層沉積.結果錶明,在該工藝條件下,Cf/SiC複閤材料的力學性能沒有明顯降低,沉積的金屬銥膜呈白亮的金屬色光澤.針對通氧沉積工藝中塗層氧含量較多的問題,通過對塗層進行後處理,使金屬銥層的純度大大提高,為穫得高純膜提供瞭新的工藝途徑.
위료진일보제고Cf/SiC복합재료적고온내소식성능,채용랭벽MOCVD공예,대조형화관형Cf/SiC복합재료양품진행료금속의막층침적.결과표명,재해공예조건하,Cf/SiC복합재료적역학성능몰유명현강저,침적적금속의막정백량적금속색광택.침대통양침적공예중도층양함량교다적문제,통과대도층진행후처리,사금속의층적순도대대제고,위획득고순막제공료신적공예도경.