哈尔滨工业大学学报
哈爾濱工業大學學報
합이빈공업대학학보
JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2007年
3期
386-389
,共4页
微机电系统%引线键合%卡尔曼滤波%参数估计
微機電繫統%引線鍵閤%卡爾曼濾波%參數估計
미궤전계통%인선건합%잡이만려파%삼수고계
针对微机电系统(MEMS)高精度,高速度和高灵活性的要求,开发了一种具有平面并联结构的机械手代替常用的X-Y平动平台,并引入机器视觉提高系统的灵活性.利用扩展卡尔曼滤波算法估计机械手各关节的初始角位置,从而间接地保证机械手在工作空间内的绝对定位精度.针对任何微机电系统器件,该封装系统本身还被用作测量手段,建立器件的几何模型,为封装离线编程奠定了基础,实现了系统的灵活性和封装效率之间较理想的平衡.
針對微機電繫統(MEMS)高精度,高速度和高靈活性的要求,開髮瞭一種具有平麵併聯結構的機械手代替常用的X-Y平動平檯,併引入機器視覺提高繫統的靈活性.利用擴展卡爾曼濾波算法估計機械手各關節的初始角位置,從而間接地保證機械手在工作空間內的絕對定位精度.針對任何微機電繫統器件,該封裝繫統本身還被用作測量手段,建立器件的幾何模型,為封裝離線編程奠定瞭基礎,實現瞭繫統的靈活性和封裝效率之間較理想的平衡.
침대미궤전계통(MEMS)고정도,고속도화고령활성적요구,개발료일충구유평면병련결구적궤계수대체상용적X-Y평동평태,병인입궤기시각제고계통적령활성.이용확전잡이만려파산법고계궤계수각관절적초시각위치,종이간접지보증궤계수재공작공간내적절대정위정도.침대임하미궤전계통기건,해봉장계통본신환피용작측량수단,건립기건적궤하모형,위봉장리선편정전정료기출,실현료계통적령활성화봉장효솔지간교이상적평형.
