飞秒激光刻写铌酸锂光波导的实验研究
비초격광각사니산리광파도적실험연구
Experimental Research on Congruent LiNbO3 Waveguide Fabricated by Femtosecond Laser Pulses
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2009年 1期 26-29 ,共4页

    张双根%姚江宏%李勇男%魏岱%郭文刚%涂成厚%朱辉%雷霆%吕福云

    장쌍근%요강굉%리용남%위대%곽문강%도성후%주휘%뢰정%려복운

    飞秒激光%光波导%铌酸锂%传输损耗 飛秒激光%光波導%鈮痠鋰%傳輸損耗
    비초격광%광파도%니산리%전수손모
    研究了飞秒激光加工参量对刻写质量的影响,分析了激光能量吸收的多光子效应,测试了刻写通道的传输特性.实验结果表明,激光刻写的通道具有良好的波导特性:当激光脉冲能量在20 μJ左右,扫描速度在300 μm/s～400 μm/s之间时,刻写通道的传输损耗小于1 dB/cm,低于晶体的传输损耗,其原因是激光诱导锂离子的扩散引起了晶体内部局部折射率的增加.
    연구료비초격광가공삼량대각사질량적영향,분석료격광능량흡수적다광자효응,측시료각사통도적전수특성.실험결과표명,격광각사적통도구유량호적파도특성:당격광맥충능량재20 μJ좌우,소묘속도재300 μm/s～400 μm/s지간시,각사통도적전수손모소우1 dB/cm,저우정체적전수손모,기원인시격광유도리리자적확산인기료정체내부국부절사솔적증가.
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