半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2010年
5期
465-468
,共4页
简维廷%赵永%杨斯元%张荣哲
簡維廷%趙永%楊斯元%張榮哲
간유정%조영%양사원%장영철
隧道氧化层%斜坡电流测试%电流斜坡速率%电流倍增速率%步长%统计比较
隧道氧化層%斜坡電流測試%電流斜坡速率%電流倍增速率%步長%統計比較
수도양화층%사파전류측시%전류사파속솔%전류배증속솔%보장%통계비교
tunneling oxide%Jramp test%ramp rate%F-factor%step time%statistical comparison
讨论了斜坡电流测试的相关参数如电流斜坡速率、步长及电流倍增速率对测试结果击穿电荷具有的严重影响.指出斜坡电流测试中各个参数的设定、影响及其相关性,使斜坡电流测试的结果具有可比较性.同时,讨论了由于斜坡电流测试本身的特性,击穿电荷具有非连续性,针对击穿电荷的非连续性,提供了一种统计上的数据处理方法,并且根据工程上不同的定性比较结果提供了不同的统计比较方法,可以对非连续的斜坡电流测试结果进行定量的统计比较.在产品验证或生产线出现异常时,能够进行统计上的比较,给出定量的结果.据此能对生产线的稳定性或异常事件对产品的影响给出明确的结论,为受影响的产品的处置提供定量的数据支持.这是首次对斜坡电流测试数据的统计定量分析.
討論瞭斜坡電流測試的相關參數如電流斜坡速率、步長及電流倍增速率對測試結果擊穿電荷具有的嚴重影響.指齣斜坡電流測試中各箇參數的設定、影響及其相關性,使斜坡電流測試的結果具有可比較性.同時,討論瞭由于斜坡電流測試本身的特性,擊穿電荷具有非連續性,針對擊穿電荷的非連續性,提供瞭一種統計上的數據處理方法,併且根據工程上不同的定性比較結果提供瞭不同的統計比較方法,可以對非連續的斜坡電流測試結果進行定量的統計比較.在產品驗證或生產線齣現異常時,能夠進行統計上的比較,給齣定量的結果.據此能對生產線的穩定性或異常事件對產品的影響給齣明確的結論,為受影響的產品的處置提供定量的數據支持.這是首次對斜坡電流測試數據的統計定量分析.
토론료사파전류측시적상관삼수여전류사파속솔、보장급전류배증속솔대측시결과격천전하구유적엄중영향.지출사파전류측시중각개삼수적설정、영향급기상관성,사사파전류측시적결과구유가비교성.동시,토론료유우사파전류측시본신적특성,격천전하구유비련속성,침대격천전하적비련속성,제공료일충통계상적수거처리방법,병차근거공정상불동적정성비교결과제공료불동적통계비교방법,가이대비련속적사파전류측시결과진행정량적통계비교.재산품험증혹생산선출현이상시,능구진행통계상적비교,급출정량적결과.거차능대생산선적은정성혹이상사건대산품적영향급출명학적결론,위수영향적산품적처치제공정량적수거지지.저시수차대사파전류측시수거적통계정량분석.
The impacts of ramp rates,step times,and the F-factor to the charge breakdown (Qba) in Jramp tests are studied and also comment the Jramp parameter settings and their mutual impacts so the Jramp test results can be compared.For the non-continuity characteristic of Jramp tests,a statistical method using confidence limits is proposed to compare Jramp test data quantitatively.This proposed solution realizes the possibility to evaluate Qbd performance with sound statistical meaning and quantificational indices,which are especially important at qualifications or when abnormalities are found during mass production.It can greatly help to make obvious conclusion regarding the process stability se as to take effective actions on the nonconformance and on the lot disposition.This statistical method is the first quantitative data comparison approach for the Jramp data.