江苏大学学报（自然科学版）
江囌大學學報（自然科學版）
강소대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGSU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
3期
300-303
,共4页
丁建宁%高晓妮%袁宁一%程广贵%郭立强
丁建寧%高曉妮%袁寧一%程廣貴%郭立彊
정건저%고효니%원저일%정엄귀%곽립강
纳米硅薄膜%晶态含量%晶粒尺寸%光学禁带宽度%电导率
納米硅薄膜%晶態含量%晶粒呎吋%光學禁帶寬度%電導率
납미규박막%정태함량%정립척촌%광학금대관도%전도솔
通过改变反应气体中硅烷体积分数,采用直流偏压辅助等离子体化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积本征氢化纳米硅薄膜.使用拉曼光谱仪、原子力学显微镜和紫外可见光透射仪对薄膜进行测试,研究不同硅烷体积分数对薄膜微结构和光学性能的影响.结果表明:当硅烷体积分数增加,晶粒尺寸增加,而晶态含量却随之下降.晶态含量的降低,使拉曼光谱中谱峰的强度降低,峰位发生蓝移,薄膜有序性随之降低;而且薄膜的光学禁带宽度随硅烷体积分数的增加而增加.当硅烷体积分数为1.3%时,沉积本征氢化纳米硅薄膜,薄膜中晶粒分布均匀,其生长存在取向性.此时晶态含量约为50%,晶粒尺寸约为2.6 nm;薄膜具有较大的光学禁带宽度,为1.702 eV,以及较高的电导率.
通過改變反應氣體中硅烷體積分數,採用直流偏壓輔助等離子體化學氣相沉積法在玻璃襯底上沉積本徵氫化納米硅薄膜.使用拉曼光譜儀、原子力學顯微鏡和紫外可見光透射儀對薄膜進行測試,研究不同硅烷體積分數對薄膜微結構和光學性能的影響.結果錶明:噹硅烷體積分數增加,晶粒呎吋增加,而晶態含量卻隨之下降.晶態含量的降低,使拉曼光譜中譜峰的彊度降低,峰位髮生藍移,薄膜有序性隨之降低;而且薄膜的光學禁帶寬度隨硅烷體積分數的增加而增加.噹硅烷體積分數為1.3%時,沉積本徵氫化納米硅薄膜,薄膜中晶粒分佈均勻,其生長存在取嚮性.此時晶態含量約為50%,晶粒呎吋約為2.6 nm;薄膜具有較大的光學禁帶寬度,為1.702 eV,以及較高的電導率.
통과개변반응기체중규완체적분수,채용직류편압보조등리자체화학기상침적법재파리츤저상침적본정경화납미규박막.사용랍만광보의、원자역학현미경화자외가견광투사의대박막진행측시,연구불동규완체적분수대박막미결구화광학성능적영향.결과표명:당규완체적분수증가,정립척촌증가,이정태함량각수지하강.정태함량적강저,사랍만광보중보봉적강도강저,봉위발생람이,박막유서성수지강저;이차박막적광학금대관도수규완체적분수적증가이증가.당규완체적분수위1.3%시,침적본정경화납미규박막,박막중정립분포균균,기생장존재취향성.차시정태함량약위50%,정립척촌약위2.6 nm;박막구유교대적광학금대관도,위1.702 eV,이급교고적전도솔.
