西安电子科技大学学报（自然科学版）
西安電子科技大學學報（自然科學版）
서안전자과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2011年
6期
37-43,96
,共8页
马格林%张玉明%张义门%马仲发
馬格林%張玉明%張義門%馬仲髮
마격림%장옥명%장의문%마중발
碳化硅%外延层%质量评估%红外镜面反射谱
碳化硅%外延層%質量評估%紅外鏡麵反射譜
탄화규%외연층%질량평고%홍외경면반사보
由于当前多种技术同时被用于碳化硅( SiC)外延层质量表征,造成外延层和器件研制成本高、时间长、易损伤、不能在线检测等,限制了SiC外延材料和器件的发展.用红外镜面反射谱、拉曼散射谱、X射线衍射、原子力显微镜和X射线光电子能谱等对4H-SiC外延层质量进行了测试.测试结果的分析和 比较表明,红外镜面反射谱不但能提供拉曼散射谱、X射线衍射、原子力显微镜和X射线光电子能谱等测试的所有质量参数,而且其解析结果与其他几种技术的解析结果一致.因此,红外镜面反射谱可以作为一种低成本、快捷、无损、可在线的碳化硅外延层质量监测技术.
由于噹前多種技術同時被用于碳化硅( SiC)外延層質量錶徵,造成外延層和器件研製成本高、時間長、易損傷、不能在線檢測等,限製瞭SiC外延材料和器件的髮展.用紅外鏡麵反射譜、拉曼散射譜、X射線衍射、原子力顯微鏡和X射線光電子能譜等對4H-SiC外延層質量進行瞭測試.測試結果的分析和 比較錶明,紅外鏡麵反射譜不但能提供拉曼散射譜、X射線衍射、原子力顯微鏡和X射線光電子能譜等測試的所有質量參數,而且其解析結果與其他幾種技術的解析結果一緻.因此,紅外鏡麵反射譜可以作為一種低成本、快捷、無損、可在線的碳化硅外延層質量鑑測技術.
유우당전다충기술동시피용우탄화규( SiC)외연층질량표정,조성외연층화기건연제성본고、시간장、역손상、불능재선검측등,한제료SiC외연재료화기건적발전.용홍외경면반사보、랍만산사보、X사선연사、원자력현미경화X사선광전자능보등대4H-SiC외연층질량진행료측시.측시결과적분석화 비교표명,홍외경면반사보불단능제공랍만산사보、X사선연사、원자력현미경화X사선광전자능보등측시적소유질량삼수,이차기해석결과여기타궤충기술적해석결과일치.인차,홍외경면반사보가이작위일충저성본、쾌첩、무손、가재선적탄화규외연층질량감측기술.
