中国惯性技术学报
中國慣性技術學報
중국관성기술학보
JOURNAL OF CHINESE INERTIAL TECHNOLOGY
2012年
4期
468-471
,共4页
王巍%王岩%庄海涵%邢朝洋
王巍%王巖%莊海涵%邢朝洋
왕외%왕암%장해함%형조양
谐振加速度计%交流信号检测%闭环%解耦
諧振加速度計%交流信號檢測%閉環%解耦
해진가속도계%교류신호검측%폐배%해우
硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出及潜在的敏感结构与处理电路实现一次集成的优势,成为硅微传感器研制的热点之一.针对交流检测信号耦合效应对硅微谐振加速度计性能的重要影响,在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从结构和电路两方面研究了交流检测信号耦合效应的来源,分析了耦合效应对检测电路和闭环控制精度的影响.采用双质量块结构方案和电路优化设计所研制的硅微谐振加速度计,基频为15 kHz,标度因数为36 Hz/g,量程为±30 g.试验证明耦合效应对仪表性能的影响降低到0.3 mg以内.
硅微諧振加速度計以高精度的頻率信號輸齣及潛在的敏感結構與處理電路實現一次集成的優勢,成為硅微傳感器研製的熱點之一.針對交流檢測信號耦閤效應對硅微諧振加速度計性能的重要影響,在分析硅微諧振加速度計工作機理的基礎上,從結構和電路兩方麵研究瞭交流檢測信號耦閤效應的來源,分析瞭耦閤效應對檢測電路和閉環控製精度的影響.採用雙質量塊結構方案和電路優化設計所研製的硅微諧振加速度計,基頻為15 kHz,標度因數為36 Hz/g,量程為±30 g.試驗證明耦閤效應對儀錶性能的影響降低到0.3 mg以內.
규미해진가속도계이고정도적빈솔신호수출급잠재적민감결구여처리전로실현일차집성적우세,성위규미전감기연제적열점지일.침대교류검측신호우합효응대규미해진가속도계성능적중요영향,재분석규미해진가속도계공작궤리적기출상,종결구화전로량방면연구료교류검측신호우합효응적래원,분석료우합효응대검측전로화폐배공제정도적영향.채용쌍질량괴결구방안화전로우화설계소연제적규미해진가속도계,기빈위15 kHz,표도인수위36 Hz/g,량정위±30 g.시험증명우합효응대의표성능적영향강저도0.3 mg이내.
