发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2008年
3期
455-459
,共5页
孙剑%白亦真%谷建峰%刘明%张庆瑜%姜辛
孫劍%白亦真%穀建峰%劉明%張慶瑜%薑辛
손검%백역진%곡건봉%류명%장경유%강신
声表面波滤波器%金刚石%ZnO薄膜%磁控溅射
聲錶麵波濾波器%金剛石%ZnO薄膜%磁控濺射
성표면파려파기%금강석%ZnO박막%자공천사
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化.利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测.结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好.
採用磁控濺射在自持CVD金剛石厚膜的成覈麵上製備瞭ZnO薄膜,併實驗研究瞭其生長特性和髮光特性隨O2和Ar流量的變化.利用X射線衍射(XRD)、光緻髮光(PL)光譜、電子探針(EPMA)和霍爾測量對樣品進行瞭檢測.結果錶明,在O2/Ar比值約為1時沉積得到的ZnO薄膜取嚮較一緻,呈現高阻的狀態併且髮光性能最好.
채용자공천사재자지CVD금강석후막적성핵면상제비료ZnO박막,병실험연구료기생장특성화발광특성수O2화Ar류량적변화.이용X사선연사(XRD)、광치발광(PL)광보、전자탐침(EPMA)화곽이측량대양품진행료검측.결과표명,재O2/Ar비치약위1시침적득도적ZnO박막취향교일치,정현고조적상태병차발광성능최호.
