光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2003年
11期
1168-1170
,共3页
邱海军%刘育梁%李芳%贺月娇%田珂珂%辛红丽
邱海軍%劉育樑%李芳%賀月嬌%田珂珂%辛紅麗
구해군%류육량%리방%하월교%전가가%신홍려
光分插复用(OADM)%复用/解复用%有效折射率
光分插複用(OADM)%複用/解複用%有效摺射率
광분삽복용(OADM)%복용/해복용%유효절사솔
研究了基于SOI(silicon-on-insulator)材料的阵列波导光栅(AWG)分波器件,给出了此器件材料色散的数值拟合公式,进而利用BPM方法研究了材料色散脊型波导结构变化和器件制做中刻蚀深度误差对波导有效折射率和波分复用模块性能的影响.结果表明,刻蚀深度误差对模块性能优劣起关键作用.
研究瞭基于SOI(silicon-on-insulator)材料的陣列波導光柵(AWG)分波器件,給齣瞭此器件材料色散的數值擬閤公式,進而利用BPM方法研究瞭材料色散脊型波導結構變化和器件製做中刻蝕深度誤差對波導有效摺射率和波分複用模塊性能的影響.結果錶明,刻蝕深度誤差對模塊性能優劣起關鍵作用.
연구료기우SOI(silicon-on-insulator)재료적진렬파도광책(AWG)분파기건,급출료차기건재료색산적수치의합공식,진이이용BPM방법연구료재료색산척형파도결구변화화기건제주중각식심도오차대파도유효절사솔화파분복용모괴성능적영향.결과표명,각식심도오차대모괴성능우렬기관건작용.
