光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
4期
437-441
,共5页
邵淑英%范正修%范瑞瑛%邵建达
邵淑英%範正脩%範瑞瑛%邵建達
소숙영%범정수%범서영%소건체
薄膜物理%残余应力%ZrO2薄膜%沉积温度%沉积速率
薄膜物理%殘餘應力%ZrO2薄膜%沉積溫度%沉積速率
박막물리%잔여응력%ZrO2박막%침적온도%침적속솔
采用ZYGO MarkⅢ-GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO2薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO2薄膜残余应力的影响.实验结果表明:随着沉积温度及沉积速率的升高,ZrO2薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大.同时用X射线衍射技术测量分析了不同沉积条件下ZrO2薄膜的微结构组织,探讨了ZrO2薄膜微结构与其应力的对应关系.
採用ZYGO MarkⅢ-GPI數字波麵榦涉儀對電子束蒸髮方法製備的ZrO2薄膜中的殘餘應力進行瞭研究,討論瞭沉積溫度、沉積速率等工藝參量對ZrO2薄膜殘餘應力的影響.實驗結果錶明:隨著沉積溫度及沉積速率的升高,ZrO2薄膜中殘餘應力狀態由張應力變為壓應力,且壓應力值隨著沉積溫度升高而增大.同時用X射線衍射技術測量分析瞭不同沉積條件下ZrO2薄膜的微結構組織,探討瞭ZrO2薄膜微結構與其應力的對應關繫.
채용ZYGO MarkⅢ-GPI수자파면간섭의대전자속증발방법제비적ZrO2박막중적잔여응력진행료연구,토론료침적온도、침적속솔등공예삼량대ZrO2박막잔여응력적영향.실험결과표명:수착침적온도급침적속솔적승고,ZrO2박막중잔여응력상태유장응력변위압응력,차압응력치수착침적온도승고이증대.동시용X사선연사기술측량분석료불동침적조건하ZrO2박막적미결구조직,탐토료ZrO2박막미결구여기응력적대응관계.
