激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2
격광소묘자공천사Fe/Si막직접형성α-FeSi2
Direct formation of α-FeSi2 from Fe/Si films prepared by magnetron sputtering using laser scan aealing
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2008年 7期 1087-1090 ,共4页

    张晋敏%谢泉%余平%张勇%肖清泉%杨子义%梁艳%曾武贤

    장진민%사천%여평%장용%초청천%양자의%량염%증무현

    磁控溅射%激光扫描退火%结晶性质%显微结构 磁控濺射%激光掃描退火%結晶性質%顯微結構
    자공천사%격광소묘퇴화%결정성질%현미결구
    用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响.测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相α-FeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高.
    용직류자공천사방법분별재실온급불동온도적Si(100)츤저상침적Fe막,수후채용맥충격광소묘진행퇴화,X사선연사(XRD)화소묘전자현미경(SEM)표정료격광소묘대박막결정성질화표면현미결구적영향.측량결과증실직접형성료Fe-Si화합물계적부규고온상α-FeSi2,실온침적양품적결정성질수격광능량밀도적증가이제고;반응침적양품적결정성질수츤저온도승고이제고.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문