天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
7期
573-576
,共4页
姜恩永%陈逸飞%李志青%白海力
薑恩永%陳逸飛%李誌青%白海力
강은영%진일비%리지청%백해력
Fe-N薄膜%饱和磁化强度%射频磁控溅射
Fe-N薄膜%飽和磁化彊度%射頻磁控濺射
Fe-N박막%포화자화강도%사빈자공천사
用射频磁控溅射法分别在具有20 nm Fe衬底的Si(100)和NaCl单晶基片上成功地制备出具有高饱和磁化强度的Fe-N薄膜.用X射线衍射仪、透射电子显微镜和振动样品磁强计研究了氮气分压和基片温度对Fe-N薄膜相结构和磁性的影响.结果表明,当氮气分压为2.66×10-2 Pa,基片温度为100～150 ℃时,最有利于α″-Fe16N2相的形成.在此条件下制备的Fe-N薄膜的饱和磁化强度高达2.735 T,超过纯Fe的饱和磁化强度值.
用射頻磁控濺射法分彆在具有20 nm Fe襯底的Si(100)和NaCl單晶基片上成功地製備齣具有高飽和磁化彊度的Fe-N薄膜.用X射線衍射儀、透射電子顯微鏡和振動樣品磁彊計研究瞭氮氣分壓和基片溫度對Fe-N薄膜相結構和磁性的影響.結果錶明,噹氮氣分壓為2.66×10-2 Pa,基片溫度為100～150 ℃時,最有利于α″-Fe16N2相的形成.在此條件下製備的Fe-N薄膜的飽和磁化彊度高達2.735 T,超過純Fe的飽和磁化彊度值.
용사빈자공천사법분별재구유20 nm Fe츤저적Si(100)화NaCl단정기편상성공지제비출구유고포화자화강도적Fe-N박막.용X사선연사의、투사전자현미경화진동양품자강계연구료담기분압화기편온도대Fe-N박막상결구화자성적영향.결과표명,당담기분압위2.66×10-2 Pa,기편온도위100～150 ℃시,최유리우α″-Fe16N2상적형성.재차조건하제비적Fe-N박막적포화자화강도고체2.735 T,초과순Fe적포화자화강도치.
