无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
5期
1064-1066
,共3页
朱嘉琦%卢佳%田桂%檀满林%耿达
硃嘉琦%盧佳%田桂%檀滿林%耿達
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非晶金刚石薄膜%非晶硅太阳电池%p型掺杂%转化效率
非晶金剛石薄膜%非晶硅太暘電池%p型摻雜%轉化效率
비정금강석박막%비정규태양전지%p형참잡%전화효솔
以固态掺杂方式利用过滤阴极真空电弧技术制备掺硼非晶金刚石薄膜,获得性能优良的宽带隙p型半导体材料,再利用等离子增强化学气相沉积技术制备p-i-n结构非晶硅人阳电池的本征层和n型层,最终制成以掺硼非晶金刚石薄膜为窗口层的非晶硅人阳电池.利用Lambda950紫外-可见光分光光度计表征薄膜的光学带隙,并测试电池开路电压、短路电流、填充因子以及转化效率等参数,再分析电池的光谱响应特性.实验表明,掺硼非晶金刚石薄膜的光学带隙(～2.0eV)比P型非晶硅更宽,以掺硼非晶金刚石薄膜用作非晶硅太阳电池的窗口层,能够改善电池的光谱响应特征,并提高转化效率达10%以上.
以固態摻雜方式利用過濾陰極真空電弧技術製備摻硼非晶金剛石薄膜,穫得性能優良的寬帶隙p型半導體材料,再利用等離子增彊化學氣相沉積技術製備p-i-n結構非晶硅人暘電池的本徵層和n型層,最終製成以摻硼非晶金剛石薄膜為窗口層的非晶硅人暘電池.利用Lambda950紫外-可見光分光光度計錶徵薄膜的光學帶隙,併測試電池開路電壓、短路電流、填充因子以及轉化效率等參數,再分析電池的光譜響應特性.實驗錶明,摻硼非晶金剛石薄膜的光學帶隙(～2.0eV)比P型非晶硅更寬,以摻硼非晶金剛石薄膜用作非晶硅太暘電池的窗口層,能夠改善電池的光譜響應特徵,併提高轉化效率達10%以上.
이고태참잡방식이용과려음겁진공전호기술제비참붕비정금강석박막,획득성능우량적관대극p형반도체재료,재이용등리자증강화학기상침적기술제비p-i-n결구비정규인양전지적본정층화n형층,최종제성이참붕비정금강석박막위창구층적비정규인양전지.이용Lambda950자외-가견광분광광도계표정박막적광학대극,병측시전지개로전압、단로전류、전충인자이급전화효솔등삼수,재분석전지적광보향응특성.실험표명,참붕비정금강석박막적광학대극(～2.0eV)비P형비정규경관,이참붕비정금강석박막용작비정규태양전지적창구층,능구개선전지적광보향응특정,병제고전화효솔체10%이상.
