真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
4期
273-277
,共5页
陈卫平%萧淑琴%冯尚申%刘宜华
陳衛平%蕭淑琴%馮尚申%劉宜華
진위평%소숙금%풍상신%류의화
沉积态薄膜%有效磁导率%巨磁阻抗%磁各向异性
沉積態薄膜%有效磁導率%巨磁阻抗%磁各嚮異性
침적태박막%유효자도솔%거자조항%자각향이성
采用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了(Fe0.88Zr0.07B0.05)97Cu3薄膜样品.X射线衍射结果表明,未经任何后期处理的沉积态薄膜为非晶态结构.在5kHz～13MHz频率范围内,着重研究了沉积态样品的有效磁导率和巨磁阻抗(GMI)效应的变化特性.研究结果表明,样品具有极好的软磁性能和GMI效应,其矫顽力仅为58A/m,饱和磁化强度约为1.15×106A/m,在13MHz的频率下最大巨磁阻抗比达到17%.并发现有效磁导率比随外磁场的变化,在各向异性场Hk≈0.4kA/m处出现了峰值,GMI效应也在此磁场的位置处出现峰值.这表明GMI效应与磁场诱导的有效磁导率的变化紧密关联.
採用射頻濺射法在單晶硅襯底上製備瞭(Fe0.88Zr0.07B0.05)97Cu3薄膜樣品.X射線衍射結果錶明,未經任何後期處理的沉積態薄膜為非晶態結構.在5kHz～13MHz頻率範圍內,著重研究瞭沉積態樣品的有效磁導率和巨磁阻抗(GMI)效應的變化特性.研究結果錶明,樣品具有極好的軟磁性能和GMI效應,其矯頑力僅為58A/m,飽和磁化彊度約為1.15×106A/m,在13MHz的頻率下最大巨磁阻抗比達到17%.併髮現有效磁導率比隨外磁場的變化,在各嚮異性場Hk≈0.4kA/m處齣現瞭峰值,GMI效應也在此磁場的位置處齣現峰值.這錶明GMI效應與磁場誘導的有效磁導率的變化緊密關聯.
채용사빈천사법재단정규츤저상제비료(Fe0.88Zr0.07B0.05)97Cu3박막양품.X사선연사결과표명,미경임하후기처리적침적태박막위비정태결구.재5kHz～13MHz빈솔범위내,착중연구료침적태양품적유효자도솔화거자조항(GMI)효응적변화특성.연구결과표명,양품구유겁호적연자성능화GMI효응,기교완력부위58A/m,포화자화강도약위1.15×106A/m,재13MHz적빈솔하최대거자조항비체도17%.병발현유효자도솔비수외자장적변화,재각향이성장Hk≈0.4kA/m처출현료봉치,GMI효응야재차자장적위치처출현봉치.저표명GMI효응여자장유도적유효자도솔적변화긴밀관련.
