CAJ | 학술논문

双质量块结构形式的硅微陀螺仪能够有效消除轴向加速度等共模干扰的影响.利用结构解耦方法设计了一种新型的双质量双线振动式硅微机械陀螺仪.依据双质量硅微陀螺的结构和工作原理,通过简化的动力学方程,对该陀螺的驱动和检测模态进行了理论分析,并利用Ansys有限元软件对陀螺的驱动和检测模态进行了数值仿真.仿真结果表明,该陀螺结构设计能够实现驱动和检测模态的完全解耦,从而验证了设计思想的正确性.通过仿真,得到了驱动和检测模态的仿真频率值.在对微陀螺加工所采用的加工工艺进行简单介绍后,对加工出的硅微机械陀螺仪样品的模态频率值进行了电路测试.由于加工误差的存在,实验得到的驱动和检测频率值与仿真设计值存在1.6%的误差.最后在转台上对样品的标度因数进行了测定,得到了该双质量硅微陀螺仪的标度因数为2.518 mV/((°)·s-1).
쌍질량괴결구형식적규미타라의능구유효소제축향가속도등공모간우적영향.이용결구해우방법설계료일충신형적쌍질량쌍선진동식규미궤계타라의.의거쌍질량규미타라적결구화공작원리,통과간화적동역학방정,대해타라적구동화검측모태진행료이론분석,병이용Ansys유한원연건대타라적구동화검측모태진행료수치방진.방진결과표명,해타라결구설계능구실현구동화검측모태적완전해우,종이험증료설계사상적정학성.통과방진,득도료구동화검측모태적방진빈솔치.재대미타라가공소채용적가공공예진행간단개소후,대가공출적규미궤계타라의양품적모태빈솔치진행료전로측시.유우가공오차적존재,실험득도적구동화검측빈솔치여방진설계치존재1.6%적오차.최후재전태상대양품적표도인수진행료측정,득도료해쌍질량규미타라의적표도인수위2.518 mV/((°)·s-1).