煤矿机械
煤礦機械
매광궤계
COAL MINE MACHINERY
2010年
11期
126-128
,共3页
金刚石薄膜%钻模套%热丝%CVD
金剛石薄膜%鑽模套%熱絲%CVD
금강석박막%찬모투%열사%CVD
以硬质合金为衬底,采用化学气相法(CVD),通过改进预处理方法和优化沉积工艺参数,在钻模套内孔表面沉积金刚石薄膜涂层.利用扫描电子显微镜、表面粗糙度测量仪、激光喇曼光谱仪和洛氏硬度计对金刚石薄膜涂层的表面形貌、质量、均匀性和涂层附着力进行检测.结果表明,钻模套内孔表面可以沉积分布均匀、质量优异的金刚石薄膜.同时也为该技术推广应用并实现产业化生产提供一定的试验依据.
以硬質閤金為襯底,採用化學氣相法(CVD),通過改進預處理方法和優化沉積工藝參數,在鑽模套內孔錶麵沉積金剛石薄膜塗層.利用掃描電子顯微鏡、錶麵粗糙度測量儀、激光喇曼光譜儀和洛氏硬度計對金剛石薄膜塗層的錶麵形貌、質量、均勻性和塗層附著力進行檢測.結果錶明,鑽模套內孔錶麵可以沉積分佈均勻、質量優異的金剛石薄膜.同時也為該技術推廣應用併實現產業化生產提供一定的試驗依據.
이경질합금위츤저,채용화학기상법(CVD),통과개진예처리방법화우화침적공예삼수,재찬모투내공표면침적금강석박막도층.이용소묘전자현미경、표면조조도측량의、격광나만광보의화락씨경도계대금강석박막도층적표면형모、질량、균균성화도층부착력진행검측.결과표명,찬모투내공표면가이침적분포균균、질량우이적금강석박막.동시야위해기술추엄응용병실현산업화생산제공일정적시험의거.
