CAJ | 학술논문

阐述了2m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准.最后对2m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10nm(1σ).
천술료2m비장의각선묘준계통적조성,대기광전현미각선성상적원리급각선도상신호진행료분석,근거기각선신호적특점,연구료기고정도적각선신호자동처리계통,해계통기우FPGA현장가편정전로기술,실현각선신호적자동문공촉발、자동려제허가각선신호,배합계산궤신호자동처리연건가이실현각선측량적고정도자동묘준.최후대2m비장의적묘준정도진행료측시실험,실험결과표명,측량금속표준선문척시,2m비장의단차측량각선묘준정도우우10nm(1σ).