光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
12期
2935-2940
,共6页
SU-8胶%金属压阻%微力传感器%悬臂梁
SU-8膠%金屬壓阻%微力傳感器%懸臂樑
SU-8효%금속압조%미력전감기%현비량
由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器.介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能测试.实验结果表明:设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有较好的线性度,力灵敏度为0.24 mV/μN,测量误差为4.06％.该微力传感器可以满足对微小力的测量,相对于硅材料的微力传感器,其制作工艺更加简单,周期更短.由于SU-8胶的生物兼容性好,该传感器在生物医学研究领域有着很好的应用前景.
由于SU-8膠的彈性模量比硅的低,在SU-8膠懸臂樑上集成金屬壓阻可穫得很高的力靈敏度繫數,因此本文基于SU-8膠設計併製作瞭一種集成蛇形結構銅金屬壓阻層的SU-8膠懸臂樑微力傳感器.介紹瞭製作微力傳感器的新型工藝,併進行瞭傳感器性能測試.實驗結果錶明:設計的SU-8膠微力傳感器在0～350μN具有較好的線性度,力靈敏度為0.24 mV/μN,測量誤差為4.06％.該微力傳感器可以滿足對微小力的測量,相對于硅材料的微力傳感器,其製作工藝更加簡單,週期更短.由于SU-8膠的生物兼容性好,該傳感器在生物醫學研究領域有著很好的應用前景.
유우SU-8효적탄성모량비규적저,재SU-8효현비량상집성금속압조가획득흔고적력령민도계수,인차본문기우SU-8효설계병제작료일충집성사형결구동금속압조층적SU-8효현비량미력전감기.개소료제작미력전감기적신형공예,병진행료전감기성능측시.실험결과표명:설계적SU-8효미력전감기재0～350μN구유교호적선성도,력령민도위0.24 mV/μN,측량오차위4.06％.해미력전감기가이만족대미소력적측량,상대우규재료적미력전감기,기제작공예경가간단,주기경단.유우SU-8효적생물겸용성호,해전감기재생물의학연구영역유착흔호적응용전경.
