微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2011年
5期
672-675,680
,共5页
压力传感器%压敏电阻%单片集成电路%弱信号处理电路
壓力傳感器%壓敏電阻%單片集成電路%弱信號處理電路
압력전감기%압민전조%단편집성전로%약신호처리전로
通过分析硅压敏电阻与晶向的关系,找到力敏电阻在硅膜片上的最佳位置.经测量,在10～400 kPa范围内,压阻电桥的灵敏度约为0.36 mV/kPa.提出一种由惠斯登电桥双端输出和双级放大器组成的电路结构,以对称的输入结构和全摆幅输出,解决了传感器输出小、易产生零点漂移的问题.用Cadence软件对电路进行模拟,在5V电源电压下,该放大电路的输出范围为0.036～4.953V,开环增益为110dB,CMRR为105.8dB,相位裕度为63.68°,可满足压力传感器的要求.
通過分析硅壓敏電阻與晶嚮的關繫,找到力敏電阻在硅膜片上的最佳位置.經測量,在10～400 kPa範圍內,壓阻電橋的靈敏度約為0.36 mV/kPa.提齣一種由惠斯登電橋雙耑輸齣和雙級放大器組成的電路結構,以對稱的輸入結構和全襬幅輸齣,解決瞭傳感器輸齣小、易產生零點漂移的問題.用Cadence軟件對電路進行模擬,在5V電源電壓下,該放大電路的輸齣範圍為0.036～4.953V,開環增益為110dB,CMRR為105.8dB,相位裕度為63.68°,可滿足壓力傳感器的要求.
통과분석규압민전조여정향적관계,조도력민전조재규막편상적최가위치.경측량,재10～400 kPa범위내,압조전교적령민도약위0.36 mV/kPa.제출일충유혜사등전교쌍단수출화쌍급방대기조성적전로결구,이대칭적수입결구화전파폭수출,해결료전감기수출소、역산생영점표이적문제.용Cadence연건대전로진행모의,재5V전원전압하,해방대전로적수출범위위0.036～4.953V,개배증익위110dB,CMRR위105.8dB,상위유도위63.68°,가만족압력전감기적요구.
