粉末冶金工业
粉末冶金工業
분말야금공업
POWDER METALLURGY INDUSTRY
2012年
1期
28-31
,共4页
罗俊锋%丁照崇%董亭义%何金江%王欣平%江轩
囉俊鋒%丁照崇%董亭義%何金江%王訢平%江軒
라준봉%정조숭%동정의%하금강%왕흔평%강헌
钌%溅射靶材%热压烧结%放电等离子烧结%直接热压
釕%濺射靶材%熱壓燒結%放電等離子燒結%直接熱壓
조%천사파재%열압소결%방전등리자소결%직접열압
采用热压、放电等离子烧结及直接热压等粉末冶金工艺制备了钌金属溅射靶材,通过对致密度、晶粒度与氧含量分析研究了工艺过程对钌金属靶材制备的影响,并对比分析了三种方法制备钌靶的特点.结果表明:通过工艺优化利用三种方法均能制备出相对密度达到99％以上的高密度钌靶；随着制备温度的升高,钌靶氧含量降低,晶粒尺寸增大；热压工艺制备周期最长,钌靶表面有晶粒粗大层；放电等离子烧结与直接热压工艺都具有快速、近净成形的特点.
採用熱壓、放電等離子燒結及直接熱壓等粉末冶金工藝製備瞭釕金屬濺射靶材,通過對緻密度、晶粒度與氧含量分析研究瞭工藝過程對釕金屬靶材製備的影響,併對比分析瞭三種方法製備釕靶的特點.結果錶明:通過工藝優化利用三種方法均能製備齣相對密度達到99％以上的高密度釕靶；隨著製備溫度的升高,釕靶氧含量降低,晶粒呎吋增大；熱壓工藝製備週期最長,釕靶錶麵有晶粒粗大層；放電等離子燒結與直接熱壓工藝都具有快速、近淨成形的特點.
채용열압、방전등리자소결급직접열압등분말야금공예제비료조금속천사파재,통과대치밀도、정립도여양함량분석연구료공예과정대조금속파재제비적영향,병대비분석료삼충방법제비조파적특점.결과표명:통과공예우화이용삼충방법균능제비출상대밀도체도99％이상적고밀도조파；수착제비온도적승고,조파양함량강저,정립척촌증대；열압공예제비주기최장,조파표면유정립조대층；방전등리자소결여직접열압공예도구유쾌속、근정성형적특점.
