上海金属
上海金屬
상해금속
SHANGHAI METALS
2012年
3期
23-25,32
,共4页
胡明媚%朱丽慧%倪旺阳%刘一雄
鬍明媚%硃麗慧%倪旺暘%劉一雄
호명미%주려혜%예왕양%류일웅
TiAlN涂层%小角X射线衍射%物相检测%晶格常数%残余应力
TiAlN塗層%小角X射線衍射%物相檢測%晶格常數%殘餘應力
TiAlN도층%소각X사선연사%물상검측%정격상수%잔여응력
主要采用常规X射线衍射法(XRD)和小角X射线衍射法对微米级厚度的Ti0.5Al0.5N涂层分别进行了物相检测、晶格常数计算和残余应力测定,并对测量结果进行了比较.结果表明:常规XRD法得到的图谱中基体信息强,而小角XRD法排除了基体衍射峰的干扰,更好地反映出TiAlN涂层信息；与常规XRD相比,小角XRD技术能显著降低晶格常数测量误差,有效测定TiAlN涂层的残余应力值.
主要採用常規X射線衍射法(XRD)和小角X射線衍射法對微米級厚度的Ti0.5Al0.5N塗層分彆進行瞭物相檢測、晶格常數計算和殘餘應力測定,併對測量結果進行瞭比較.結果錶明:常規XRD法得到的圖譜中基體信息彊,而小角XRD法排除瞭基體衍射峰的榦擾,更好地反映齣TiAlN塗層信息；與常規XRD相比,小角XRD技術能顯著降低晶格常數測量誤差,有效測定TiAlN塗層的殘餘應力值.
주요채용상규X사선연사법(XRD)화소각X사선연사법대미미급후도적Ti0.5Al0.5N도층분별진행료물상검측、정격상수계산화잔여응력측정,병대측량결과진행료비교.결과표명:상규XRD법득도적도보중기체신식강,이소각XRD법배제료기체연사봉적간우,경호지반영출TiAlN도층신식；여상규XRD상비,소각XRD기술능현저강저정격상수측량오차,유효측정TiAlN도층적잔여응력치.
