同济大学学报（自然科学版）
同濟大學學報（自然科學版）
동제대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TONGJI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
8期
1270-1275
,共6页
激光光学%原子光刻%纳米计量%纳米点%蒙特卡罗方法
激光光學%原子光刻%納米計量%納米點%矇特卡囉方法
격광광학%원자광각%납미계량%납미점%몽특잡라방법
间距为半波长的纳米点制作可以进一步推动纳米计量的发展.基于经典粒子光学模型,采用蒙特卡罗思想提供初始条件,数值分析了偏振方向平行于光场平面、正交激光驻波场形成的光格点的汇聚与沉积特性.针对不同激光功率以及横向发散角分析了沉积纳米点的三维结构,同时也讨论了基板摆放位置对沉积结构的影响.数值模拟结果表明,在厚透镜及沟道化情况下得到了特征较好的纳米点.横向发散角以及基板位置的摆放是影响纳米点质量的重要因素.
間距為半波長的納米點製作可以進一步推動納米計量的髮展.基于經典粒子光學模型,採用矇特卡囉思想提供初始條件,數值分析瞭偏振方嚮平行于光場平麵、正交激光駐波場形成的光格點的彙聚與沉積特性.針對不同激光功率以及橫嚮髮散角分析瞭沉積納米點的三維結構,同時也討論瞭基闆襬放位置對沉積結構的影響.數值模擬結果錶明,在厚透鏡及溝道化情況下得到瞭特徵較好的納米點.橫嚮髮散角以及基闆位置的襬放是影響納米點質量的重要因素.
간거위반파장적납미점제작가이진일보추동납미계량적발전.기우경전입자광학모형,채용몽특잡라사상제공초시조건,수치분석료편진방향평행우광장평면、정교격광주파장형성적광격점적회취여침적특성.침대불동격광공솔이급횡향발산각분석료침적납미점적삼유결구,동시야토론료기판파방위치대침적결구적영향.수치모의결과표명,재후투경급구도화정황하득도료특정교호적납미점.횡향발산각이급기판위치적파방시영향납미점질량적중요인소.
