工业加热
工業加熱
공업가열
INDUSTRIIAL HEATING
2009年
2期
44-46
,共3页
龙会跃%李岳%邱小莎%钟新华
龍會躍%李嶽%邱小莎%鐘新華
룡회약%리악%구소사%종신화
快速退火炉%晶片%功率密度%分区
快速退火爐%晶片%功率密度%分區
쾌속퇴화로%정편%공솔밀도%분구
根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素.在此基础上提出了热源分区的设计思想.
根據快速退火爐加熱繫統的組成,利用熱量傳遞的基本理論定性地分析瞭滿足熱處理工藝指標時加熱繫統所需的熱功率以及影響快速退火繫統溫度均勻性的因素.在此基礎上提齣瞭熱源分區的設計思想.
근거쾌속퇴화로가열계통적조성,이용열량전체적기본이론정성지분석료만족열처리공예지표시가열계통소수적열공솔이급영향쾌속퇴화계통온도균균성적인소.재차기출상제출료열원분구적설계사상.
