真空
真空
진공
VACUUM
2012年
1期
74-77
,共4页
唐惠东%李龙珠%孙媛媛%谭寿洪
唐惠東%李龍珠%孫媛媛%譚壽洪
당혜동%리룡주%손원원%담수홍
射频磁控溅射法%Si-C-O-N涂层%弹性模量%显微硬度
射頻磁控濺射法%Si-C-O-N塗層%彈性模量%顯微硬度
사빈자공천사법%Si-C-O-N도층%탄성모량%현미경도
采用射频磁控溅射法在无压烧结SiC陶瓷基片上沉积了无定形Si-C-O-N涂层.利用FESEM观 察了涂层的表面形貌,结果显示:随着溅射功率的增加,涂层的表面缺陷逐渐减少,结构趋向致密化.这主要归因于偏压引起的离子轰击,使团聚在衬底表面的原子移动.采用纳米力学综合测试系统测试了涂层的力学性能,结果显示:随着溅射功率的增加,涂层弹性模量和显微硬度降低,这主要是由于涂层中Si-C键含量降低的缘故；随着溅射气压的增加,涂层弹性模量和显微硬度降低,这主要是由于被激发原子自身动能降低的原因.
採用射頻磁控濺射法在無壓燒結SiC陶瓷基片上沉積瞭無定形Si-C-O-N塗層.利用FESEM觀 察瞭塗層的錶麵形貌,結果顯示:隨著濺射功率的增加,塗層的錶麵缺陷逐漸減少,結構趨嚮緻密化.這主要歸因于偏壓引起的離子轟擊,使糰聚在襯底錶麵的原子移動.採用納米力學綜閤測試繫統測試瞭塗層的力學性能,結果顯示:隨著濺射功率的增加,塗層彈性模量和顯微硬度降低,這主要是由于塗層中Si-C鍵含量降低的緣故；隨著濺射氣壓的增加,塗層彈性模量和顯微硬度降低,這主要是由于被激髮原子自身動能降低的原因.
채용사빈자공천사법재무압소결SiC도자기편상침적료무정형Si-C-O-N도층.이용FESEM관 찰료도층적표면형모,결과현시:수착천사공솔적증가,도층적표면결함축점감소,결구추향치밀화.저주요귀인우편압인기적리자굉격,사단취재츤저표면적원자이동.채용납미역학종합측시계통측시료도층적역학성능,결과현시:수착천사공솔적증가,도층탄성모량화현미경도강저,저주요시유우도층중Si-C건함량강저적연고；수착천사기압적증가,도층탄성모량화현미경도강저,저주요시유우피격발원자자신동능강저적원인.
