CAJ | 학술논문

沈阳慧宇真空技术有限公司是从事高新技术真空应用设备研究开发的高新技术企业，主要产品为各种高真空磁控溅射设备、真空镀膜、电子束镀膜、各种物理化学沉积设备（MOCVD）、超高真空场发射设备、高真空磁控电弧炉、高温高压真空炉和各种真空部件，产品畅销国内外。其为国内外大型科研项目加速器研制的各种光束线、高精度仪器设备达到了国外同类产品水平，可为重大科研项目提供技术支持。
침양혜우진공기술유한공사시종사고신기술진공응용설비연구개발적고신기술기업，주요산품위각충고진공자공천사설비、진공도막、전자속도막、각충물이화학침적설비（MOCVD）、초고진공장발사설비、고진공자공전호로、고온고압진공로화각충진공부건，산품창소국내외。기위국내외대형과연항목가속기연제적각충광속선、고정도의기설비체도료국외동류산품수평，가위중대과연항목제공기술지지。