材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
9期
33-38,50
,共7页
曹洋%朱孔军%裘进浩%庞旭明%顾洪汇%郑红娟%季宏丽
曹洋%硃孔軍%裘進浩%龐旭明%顧洪彙%鄭紅娟%季宏麗
조양%주공군%구진호%방욱명%고홍회%정홍연%계굉려
铌酸钾钠薄膜%制备工艺%无铅压电陶瓷薄膜
鈮痠鉀鈉薄膜%製備工藝%無鉛壓電陶瓷薄膜
니산갑납박막%제비공예%무연압전도자박막
铌酸钾钠无铅压电陶瓷薄膜具有居里温度高、机电耦合系数高、介电常数低等优点,制备方法种类繁多.综述了铌酸钾钠薄膜的制备技术,包括溶胶一凝胶法、脉冲激光沉积法和磁控溅射法等;讨论了铌酸钾钠薄膜各种方法的制备工艺与功能性质的关系等,指出了各种制备技术的优缺点及发展现状;最后提出了目前铌酸钾钠薄膜制备及应用中存在的一些问题及今后的发展方向.
鈮痠鉀鈉無鉛壓電陶瓷薄膜具有居裏溫度高、機電耦閤繫數高、介電常數低等優點,製備方法種類繁多.綜述瞭鈮痠鉀鈉薄膜的製備技術,包括溶膠一凝膠法、脈遲激光沉積法和磁控濺射法等;討論瞭鈮痠鉀鈉薄膜各種方法的製備工藝與功能性質的關繫等,指齣瞭各種製備技術的優缺點及髮展現狀;最後提齣瞭目前鈮痠鉀鈉薄膜製備及應用中存在的一些問題及今後的髮展方嚮.
니산갑납무연압전도자박막구유거리온도고、궤전우합계수고、개전상수저등우점,제비방법충류번다.종술료니산갑납박막적제비기술,포괄용효일응효법、맥충격광침적법화자공천사법등;토론료니산갑납박막각충방법적제비공예여공능성질적관계등,지출료각충제비기술적우결점급발전현상;최후제출료목전니산갑납박막제비급응용중존재적일사문제급금후적발전방향.
