安徽大学学报（自然科学版）
安徽大學學報（自然科學版）
안휘대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2010年
4期
8-11
,共4页
鲁照权%郑国俊%董学平%殷礼胜%彭海军%余波
魯照權%鄭國俊%董學平%慇禮勝%彭海軍%餘波
로조권%정국준%동학평%은례성%팽해군%여파
单晶硅%直径控制%降阶自适应模型%时滞补偿
單晶硅%直徑控製%降階自適應模型%時滯補償
단정규%직경공제%강계자괄응모형%시체보상
直拉单晶硅直径与功率之间是一个复杂的四阶振荡系统,并有一定的惯性滞后,因此,使用常规方法控制该系统不能获得满意的性能.采用自适应降阶模型加时滞环节拟合复杂高阶系统,并进行时滞补偿控制.仿真结果表明:带有时滞环节的自适应降阶模型具有良好的自动拟合复杂系统及时滞补偿能力,使得直径控制系统具有良好的动静态性能.
直拉單晶硅直徑與功率之間是一箇複雜的四階振盪繫統,併有一定的慣性滯後,因此,使用常規方法控製該繫統不能穫得滿意的性能.採用自適應降階模型加時滯環節擬閤複雜高階繫統,併進行時滯補償控製.倣真結果錶明:帶有時滯環節的自適應降階模型具有良好的自動擬閤複雜繫統及時滯補償能力,使得直徑控製繫統具有良好的動靜態性能.
직랍단정규직경여공솔지간시일개복잡적사계진탕계통,병유일정적관성체후,인차,사용상규방법공제해계통불능획득만의적성능.채용자괄응강계모형가시체배절의합복잡고계계통,병진행시체보상공제.방진결과표명:대유시체배절적자괄응강계모형구유량호적자동의합복잡계통급시체보상능력,사득직경공제계통구유량호적동정태성능.
